根据HengCe (长沙恒策信息咨询有限公司)的统计及预测,2024年全球IEP和LEP终点检测系统市场销售额达到了1.26亿美元,预计2031年将达到2.03亿美元,年复合增长率(CAGR)为7.4%(2025-2031)。地区层面来看,中国市场在过去几年变化较快,2024年市场规模为 百万美元,约占全球的 %,预计2031年将达到 百万美元,届时全球占比将达到 %。
干涉终点检测 (IEP) 和激光/光终点检测 (LEP) 是半导体制造中常用的两种光学终点检测系统,尤其适用于等离子体刻蚀、原子层沉积/原子层沉积 (ALD/ALE)、薄膜沉积和晶圆清洗工艺,用于精确判断工艺层何时完全刻蚀或沉积完成。这些系统能够提高工艺精度,减少过刻蚀/欠刻蚀,提升晶圆良率,并且在先进节点(7 nm/5 nm/3 nm/2 nm)中至关重要。
干涉终点检测 (IEP) 是一种利用光学干涉来测量半导体刻蚀或沉积过程中薄膜厚度变化的方法。其工作原理是将激光或宽带光照射到晶圆表面,然后分析不同层反射产生的干涉图样(振荡)。
激光终点检测 (LEP) 是一种利用一种或多种激光波长来测量刻蚀或沉积过程中反射率或干涉变化的光学方法。 LEP本质上是一个更广泛的类别,包括单波长或多波长激光监测。
本文研究全球及中国市场IEP和LEP终点检测系统现状及未来发展趋势,侧重分析全球及中国市场的主要企业,同时对比北美、欧洲、中国、日本、东南亚和印度等地区的现状及未来发展趋势。
地区层面来说,目前 地区是全球最大的市场,2024年占有 %的市场份额,之后是 和 ,分别占有 %和 %。预计未来几年, 地区增长最快,2025-2031期间CAGR大约为 %。
从产品类型方面来看,LEP终点检测系统占有重要地位,预计2031年份额将达到 %。同时就应用来看,刻蚀在2024年份额大约是 %,未来几年CAGR大约为 %。
从企业来看,全球范围内,IEP和LEP终点检测系统核心厂商主要包括HORIBA、Intellemetrics、牛津仪器、上海车仪田科技、Verity Instruments等。2024年,全球第一梯队厂商主要有 、 和 ,第一梯队占有大约 %的市场份额;第二梯队厂商有 、 、 和 等,共占有 %份额。
本文重点分析在全球及中国有重要角色的企业,分析这些企业IEP和LEP终点检测系统产品的市场规模、市场份额、市场定位、产品类型以及发展规划等。
主要企业包括:
HORIBA
Intellemetrics
牛津仪器
上海车仪田科技
Verity Instruments
苏州尼米兹真空设备
按照不同产品类型,包括如下几个类别:
IEP终点检测系统
LEP终点检测系统
按照不同移动性,包括如下几个类别:
便携式
台式
按照不同应用,主要包括如下几个方面:
刻蚀
薄膜沉积
其他
重点关注如下几个地区
北美
欧洲
中国
日本
东南亚
印度
本文正文共8章,各章节主要内容如下:
第1章:报告统计范围、产品细分及全球总体规模及增长率等数据
第2章:全球不同应用IEP和LEP终点检测系统市场规模及份额等
第3章:全球IEP和LEP终点检测系统主要地区市场规模及份额等
第4章:全球范围内IEP和LEP终点检测系统主要企业竞争分析,主要包括IEP和LEP终点检测系统收入、市场份额及行业集中度分析
第5章:中国市场IEP和LEP终点检测系统主要企业竞争分析,主要包括IEP和LEP终点检测系统收入、市场份额及行业集中度分析
第6章:全球主要企业基本情况介绍,包括公司简介、IEP和LEP终点检测系统产品、收入及最新动态等
第7章:行业发展机遇和风险分析
第8章:报告结论
1 IEP和LEP终点检测系统市场概述
1.1 IEP和LEP终点检测系统市场概述
1.2 不同产品类型IEP和LEP终点检测系统分析
1.2.1 IEP终点检测系统
1.2.2 LEP终点检测系统
1.2.3 全球市场不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额对比(2020 VS 2024 VS 2031)
1.2.4 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
1.2.4.1 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额及市场份额(2020-2025)
1.2.4.2 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)
1.2.5 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
1.2.5.1 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额及市场份额(2020-2025)
1.2.5.2 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)
1.3 不同移动性IEP和LEP终点检测系统分析
1.3.1 便携式
1.3.2 台式
1.3.3 全球市场不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额对比(2020 VS 2024 VS 2031)
1.3.4 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
1.3.4.1 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额及市场份额(2020-2025)
1.3.4.2 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)
1.3.5 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
1.3.5.1 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额及市场份额(2020-2025)
1.3.5.2 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)
2 不同应用分析
2.1 从不同应用,IEP和LEP终点检测系统主要包括如下几个方面
2.1.1 刻蚀
2.1.2 薄膜沉积
2.1.3 其他
2.2 全球市场不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额对比(2020 VS 2024 VS 2031)
2.3 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
2.3.1 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额及市场份额(2020-2025)
2.3.2 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)
2.4 中国不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
2.4.1 中国不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额及市场份额(2020-2025)
2.4.2 中国不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)
3 全球IEP和LEP终点检测系统主要地区分析
3.1 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统市场规模分析:2020 VS 2024 VS 2031
3.1.1 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统销售额及份额(2020-2025年)
3.1.2 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统销售额及份额预测(2026-2031)
3.2 北美IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
3.3 欧洲IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
3.4 中国IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
3.5 日本IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
3.6 东南亚IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
3.7 印度IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)
4 全球主要企业市场占有率
4.1 全球主要企业IEP和LEP终点检测系统销售额及市场份额
4.2 全球IEP和LEP终点检测系统主要企业竞争态势
4.2.1 IEP和LEP终点检测系统行业集中度分析:2024年全球Top 5厂商市场份额
4.2.2 全球IEP和LEP终点检测系统第一梯队、第二梯队和第三梯队企业及市场份额
4.3 2024年全球主要厂商IEP和LEP终点检测系统收入排名
4.4 全球主要厂商IEP和LEP终点检测系统总部及市场区域分布
4.5 全球主要厂商IEP和LEP终点检测系统产品类型及应用
4.6 全球主要厂商IEP和LEP终点检测系统商业化日期
4.7 新增投资及市场并购活动
4.8 IEP和LEP终点检测系统全球领先企业SWOT分析
5 中国市场IEP和LEP终点检测系统主要企业分析
5.1 中国IEP和LEP终点检测系统销售额及市场份额(2020-2025)
5.2 中国IEP和LEP终点检测系统Top 3和Top 5企业市场份额
6 主要企业简介
6.1 HORIBA
6.1.1 HORIBA公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.1.2 HORIBA IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
6.1.3 HORIBA IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
6.1.4 HORIBA公司简介及主要业务
6.1.5 HORIBA企业最新动态
6.2 Intellemetrics
6.2.1 Intellemetrics公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.2.2 Intellemetrics IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
6.2.3 Intellemetrics IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
6.2.4 Intellemetrics公司简介及主要业务
6.2.5 Intellemetrics企业最新动态
6.3 牛津仪器
6.3.1 牛津仪器公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.3.2 牛津仪器 IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
6.3.3 牛津仪器 IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
6.3.4 牛津仪器公司简介及主要业务
6.3.5 牛津仪器企业最新动态
6.4 上海车仪田科技
6.4.1 上海车仪田科技公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.4.2 上海车仪田科技 IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
6.4.3 上海车仪田科技 IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
6.4.4 上海车仪田科技公司简介及主要业务
6.5 Verity Instruments
6.5.1 Verity Instruments公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.5.2 Verity Instruments IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
6.5.3 Verity Instruments IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
6.5.4 Verity Instruments公司简介及主要业务
6.5.5 Verity Instruments企业最新动态
6.6 苏州尼米兹真空设备
6.6.1 苏州尼米兹真空设备公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.6.2 苏州尼米兹真空设备 IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
6.6.3 苏州尼米兹真空设备 IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
6.6.4 苏州尼米兹真空设备公司简介及主要业务
6.6.5 苏州尼米兹真空设备企业最新动态
7 行业发展机遇和风险分析
7.1 IEP和LEP终点检测系统行业发展机遇及主要驱动因素
7.2 IEP和LEP终点检测系统行业发展面临的风险
7.3 IEP和LEP终点检测系统行业政策分析
8 研究结果
9 研究方法与数据来源
9.1 研究方法
9.2 数据来源
9.2.1 二手信息来源
9.2.2 一手信息来源
9.3 数据交互验证
9.4 免责声明
表格目录
表 1: IEP终点检测系统主要企业列表
表 2: LEP终点检测系统主要企业列表
表 3: 全球市场不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额及增长率对比(2020 VS 2024 VS 2031)&(百万美元)
表 4: 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额列表(2020-2025)&(百万美元)
表 5: 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额列表(2020-2025)
表 6: 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)&(百万美元)
表 7: 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额预测(2026-2031)
表 8: 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额列表(2020-2025)&(百万美元)
表 9: 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额列表(2020-2025)
表 10: 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)&(百万美元)
表 11: 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额预测(2026-2031)
表 12: 便携式主要企业列表
表 13: 台式主要企业列表
表 14: 全球市场不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额及增长率对比(2020 VS 2024 VS 2031)&(百万美元)
表 15: 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额列表(2020-2025)&(百万美元)
表 16: 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额列表(2020-2025)
表 17: 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)&(百万美元)
表 18: 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额预测(2026-2031)
表 19: 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额列表(2020-2025)&(百万美元)
表 20: 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额列表(2020-2025)
表 21: 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)&(百万美元)
表 22: 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额预测(2026-2031)
表 23: 全球市场不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额及增长率对比(2020 VS 2024 VS 2031)&(百万美元)
表 24: 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额列表(2020-2025)&(百万美元)
表 25: 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额列表(2020-2025)
表 26: 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)&(百万美元)
表 27: 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统市场份额预测(2026-2031)
表 28: 中国不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额列表(2020-2025)&(百万美元)
表 29: 中国不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额列表(2020-2025)
表 30: 中国不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额预测(2026-2031)&(百万美元)
表 31: 中国不同应用IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额预测(2026-2031)
表 32: 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统销售额:(2020 VS 2024 VS 2031)&(百万美元)
表 33: 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统销售额列表(2020-2025年)&(百万美元)
表 34: 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统销售额及份额列表(2020-2025年)
表 35: 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统销售额列表预测(2026-2031)&(百万美元)
表 36: 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统销售额及份额列表预测(2026-2031)
表 37: 全球主要企业IEP和LEP终点检测系统销售额(2020-2025)&(百万美元)
表 38: 全球主要企业IEP和LEP终点检测系统销售额份额对比(2020-2025)
表 39: 2024年全球IEP和LEP终点检测系统主要厂商市场地位(第一梯队、第二梯队和第三梯队)
表 40: 2024年全球主要厂商IEP和LEP终点检测系统收入排名(百万美元)
表 41: 全球主要厂商IEP和LEP终点检测系统总部及市场区域分布
表 42: 全球主要厂商IEP和LEP终点检测系统产品类型及应用
表 43: 全球主要厂商IEP和LEP终点检测系统商业化日期
表 44: 全球IEP和LEP终点检测系统市场投资、并购等现状分析
表 45: 中国主要企业IEP和LEP终点检测系统销售额列表(2020-2025)&(百万美元)
表 46: 中国主要企业IEP和LEP终点检测系统销售额份额对比(2020-2025)
表 47: HORIBA公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 48: HORIBA IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
表 49: HORIBA IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
表 50: HORIBA公司简介及主要业务
表 51: HORIBA企业最新动态
表 52: Intellemetrics公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 53: Intellemetrics IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
表 54: Intellemetrics IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
表 55: Intellemetrics公司简介及主要业务
表 56: Intellemetrics企业最新动态
表 57: 牛津仪器公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 58: 牛津仪器 IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
表 59: 牛津仪器 IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
表 60: 牛津仪器公司简介及主要业务
表 61: 牛津仪器企业最新动态
表 62: 上海车仪田科技公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 63: 上海车仪田科技 IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
表 64: 上海车仪田科技 IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
表 65: 上海车仪田科技公司简介及主要业务
表 66: Verity Instruments公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 67: Verity Instruments IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
表 68: Verity Instruments IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
表 69: Verity Instruments公司简介及主要业务
表 70: Verity Instruments企业最新动态
表 71: 苏州尼米兹真空设备公司信息、总部、IEP和LEP终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 72: 苏州尼米兹真空设备 IEP和LEP终点检测系统产品及服务介绍
表 73: 苏州尼米兹真空设备 IEP和LEP终点检测系统收入及毛利率(2020-2025)&(百万美元)
表 74: 苏州尼米兹真空设备公司简介及主要业务
表 75: 苏州尼米兹真空设备企业最新动态
表 76: IEP和LEP终点检测系统行业发展机遇及主要驱动因素
表 77: IEP和LEP终点检测系统行业发展面临的风险
表 78: IEP和LEP终点检测系统行业政策分析
表 79: 研究范围
表 80: 本文分析师列表
图表目录
图 1: IEP和LEP终点检测系统产品图片
图 2: 全球市场IEP和LEP终点检测系统市场规模(销售额), 2020 VS 2024 VS 2031(百万美元)
图 3: 全球IEP和LEP终点检测系统市场销售额预测:(百万美元)&(2020-2031)
图 4: 中国市场IEP和LEP终点检测系统销售额及未来趋势(2020-2031)&(百万美元)
图 5: IEP终点检测系统 产品图片
图 6: 全球IEP终点检测系统规模及增长率(2020-2031)&(百万美元)
图 7: LEP终点检测系统产品图片
图 8: 全球LEP终点检测系统规模及增长率(2020-2031)&(百万美元)
图 9: 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统市场份额2024 & 2031
图 10: 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 11: 全球不同产品类型IEP和LEP终点检测系统市场份额预测2025 & 2031
图 12: 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 13: 中国不同产品类型IEP和LEP终点检测系统市场份额预测2025 & 2031
图 14: 便携式 产品图片
图 15: 全球便携式规模及增长率(2020-2031)&(百万美元)
图 16: 台式产品图片
图 17: 全球台式规模及增长率(2020-2031)&(百万美元)
图 18: 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统市场份额2024 & 2031
图 19: 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 20: 全球不同移动性IEP和LEP终点检测系统市场份额预测2025 & 2031
图 21: 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 22: 中国不同移动性IEP和LEP终点检测系统市场份额预测2025 & 2031
图 23: 刻蚀
图 24: 薄膜沉积
图 25: 其他
图 26: 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统市场份额2024 VS 2031
图 27: 全球不同应用IEP和LEP终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 28: 全球主要地区IEP和LEP终点检测系统销售额市场份额(2020 VS 2024)
图 29: 北美IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)&(百万美元)
图 30: 欧洲IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)&(百万美元)
图 31: 中国IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)&(百万美元)
图 32: 日本IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)&(百万美元)
图 33: 东南亚IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)&(百万美元)
图 34: 印度IEP和LEP终点检测系统销售额及预测(2020-2031)&(百万美元)
图 35: 2024年全球前五大厂商IEP和LEP终点检测系统市场份额
图 36: 2024年全球IEP和LEP终点检测系统第一梯队、第二梯队和第三梯队厂商及市场份额
图 37: IEP和LEP终点检测系统全球领先企业SWOT分析
图 38: 2024年中国排名前三和前五IEP和LEP终点检测系统企业市场份额
图 39: 关键采访目标
图 40: 自下而上及自上而下验证
图 41: 资料三角测定