根据HengCe报告出版商调研统计，2031年全球OES终点检测系统市场销售额预计将达到24.51亿元，年复合增长率（CAGR）为8.9%（2025-2031）。中国市场在过去几年变化较快，2024年市场规模为 亿元，约占全球的 %，预计2031年将达到 亿元，届时全球占比将达到 %。
光学发射光谱 (OES) 终点检测系统是一种原位等离子体监测设备，用于半导体制造中，以确定蚀刻、清洗或沉积工艺何时达到目标终点的精确时刻。这些系统分析蚀刻或沉积腔室内等离子体的光学发射光谱——监测与工艺副产物相关的特定波长处的强度变化——以识别层间过渡，防止过度蚀刻或蚀刻不足，提高均匀性并保护晶圆良率。该产业链上游包括光谱仪、衍射光栅、光纤、CCD/CMOS 探测器、耐等离子体光学窗口、信号处理电子器件、运动/定位部件、机械外壳以及固件/软件开发等供应商。中游则由 Verity Instruments、HORIBA、Oxford Instruments、Atonarp 和 Spectral Products 等专业的 OES 终点检测设备制造商组成，他们将传感器、光学模块、算法和数字接口集成到完整的终点检测单元中。在下游工艺中，这些系统被安装在 Lam Research、TEL、Applied Materials、ASM、AMEC、NAURA、Oxford Instruments 等公司的半导体工艺设备中，用于对干法刻蚀、等离子清洗、PECVD、ALD/ALE 和晶圆转移等工艺步骤进行实时过程控制。由于技术门槛高且对晶圆良率影响显著，行业平均毛利率相对较高——领先供应商通常为 40%–55%，中型仪器公司为 30%–40%，而低成本的国内供应商则为 25%–35%。生产并非以“生产线”来衡量，而是以组装和校准单元来衡量；单个生产单元通常每年可生产 1,000 至 5,000 个 OES 终点模块，具体产量取决于系统复杂程度（简单的光谱仪模块与包含完整高级算法和多通道单元的系统）。总体而言，OES 终点检测系统是一个高价值、精密仪器类别，其强劲的需求增长是由先进的节点蚀刻、更严格的工艺窗口、多重图案化以及 ALD/ALE 应用在逻辑和存储器制造中的扩展所驱动的。
国际市场占有率和排名来看，主要厂商有HORIBA、牛津仪器、Spectral Products、上海车仪田科技、Verity Instruments等，2024年前五大厂商占据国际市场大约 %的份额。
国内市场占有率和排名来看，在中国市场主要厂商有HORIBA、牛津仪器、Spectral Products、上海车仪田科技、Verity Instruments等，2024年前五大厂商占据国内市场大约 %的份额。
从产品类型方面来看，基于比值占有重要地位，预计2031年份额将达到 %。同时就应用来看，刻蚀在2024年份额大约是 %，未来几年CAGR大约为 %。
本文侧重研究全球OES终点检测系统总体规模及主要厂商占有率和排名，主要统计指标包括OES终点检测系统业务收入、市场份额及排名等，企业数据主要侧重近三年行业内主要厂商的市场销售情况。地区层面，主要分析过去五年和未来五年行业内主要地区的规模及趋势。
本文主要企业名单如下，也可根据客户要求增加目标企业：
HORIBA
牛津仪器
Spectral Products
上海车仪田科技
Verity Instruments
Ocean Optics
按照不同产品类型，包括如下几个类别：
基于强度变化
基于比值
按照不同产品，包括如下几个类别：
单波长
多波长
按照不同应用，主要包括如下几个方面：
刻蚀
薄膜沉积
其他
重点关注如下几个地区
北美
欧洲
中国
日本
东南亚
印度
本文正文共9章，各章节主要内容如下：
第1章：报告统计范围、所属行业、全球及中国总体规模
第2章：国内外主要企业市场占有率及排名
第3章：全球OES终点检测系统主要地区市场规模及份额等
第4章：按产品类型细分，全球OES终点检测系统市场规模及份额等
第5章：按应用细分，全球OES终点检测系统市场规模及份额等
第6章：全球主要企业基本情况介绍，包括公司简介、OES终点检测系统产品、收入及最新动态等
第7章：行业发展趋势、驱动因素、行业政策等
第8章：产业链、上下游分析、生产模式、销售，模式及销售渠道分析等
第9章：报告结论
1 统计范围及所属行业
1.1 产品定义
1.2 所属行业
1.3 全球市场OES终点检测系统市场总体规模
1.4 中国市场OES终点检测系统市场总体规模
1.5 行业发展现状分析
1.5.1 OES终点检测系统行业发展总体概况
1.5.2 OES终点检测系统行业发展主要特点
1.5.3 OES终点检测系统行业发展影响因素
1.5.3.1 OES终点检测系统有利因素
1.5.3.2 OES终点检测系统不利因素
1.5.4 进入行业壁垒
2 国内外市场占有率及排名
2.1 全球市场，近三年OES终点检测系统主要企业占有率及排名（按收入）
2.1.1 近三年OES终点检测系统主要企业在国际市场占有率（按收入，2022-2025）
2.1.2 2024年OES终点检测系统主要企业在国际市场排名（按收入）
2.1.3 近三年全球市场主要企业OES终点检测系统销售收入（2022-2025）
2.2 中国市场，近三年OES终点检测系统主要企业占有率及排名（按收入）
2.2.1 近三年OES终点检测系统主要企业在中国市场占有率（按收入，2022-2025）
2.2.2 2024年OES终点检测系统主要企业在中国市场排名（按收入）
2.2.3 近三年中国市场主要企业OES终点检测系统销售收入（2022-2025）
2.3 全球主要厂商OES终点检测系统总部及产地分布
2.4 全球主要厂商成立时间及OES终点检测系统商业化日期
2.5 全球主要厂商OES终点检测系统产品类型及应用
2.6 OES终点检测系统行业集中度、竞争程度分析
2.6.1 OES终点检测系统行业集中度分析：2024年全球Top 5厂商市场份额
2.6.2 全球OES终点检测系统第一梯队、第二梯队和第三梯队厂商（品牌）及市场份额
2.7 新增投资及市场并购活动
3 全球OES终点检测系统主要地区分析
3.1 全球主要地区OES终点检测系统市场规模分析：2020 VS 2024 VS 2031
3.1.1 全球主要地区OES终点检测系统销售额及份额（2020-2025年）
3.1.2 全球主要地区OES终点检测系统销售额及份额预测（2026-2031）
3.2 北美OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
3.3 欧洲OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
3.4 中国OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
3.5 日本OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
3.6 东南亚OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
3.7 印度OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
4 产品分类，按产品类型
4.1 产品分类，按产品类型
4.1.1 基于强度变化
4.1.2 基于比值
4.1.3 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额对比（2020 VS 2024 VS 2031）
4.1.4 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
4.1.4.1 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额及市场份额（2020-2025）
4.1.4.2 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）
4.1.5 按产品类型细分，中国OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
4.1.5.1 按产品类型细分，中国OES终点检测系统销售额及市场份额（2020-2025）
4.1.5.2 按产品类型细分，中国OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）
4.2 产品分类，按产品
4.2.1 单波长
4.2.2 多波长
4.2.3 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额对比（2020 VS 2024 VS 2031）
4.2.4 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
4.2.4.1 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额及市场份额（2020-2025）
4.2.4.2 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）
4.2.5 按产品细分，中国OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
4.2.5.1 按产品细分，中国OES终点检测系统销售额及市场份额（2020-2025）
4.2.5.2 按产品细分，中国OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）
5 产品分类，按应用
5.1 产品分类，按应用
5.1.1 刻蚀
5.1.2 薄膜沉积
5.1.3 其他
5.2 按应用细分，全球OES终点检测系统销售额对比（2020 VS 2024 VS 2031）
5.3 按应用细分，全球OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
5.3.1 按应用细分，全球OES终点检测系统销售额及市场份额（2020-2025）
5.3.2 按应用细分，全球OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）
5.4 中国不同应用OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）
5.4.1 中国不同应用OES终点检测系统销售额及市场份额（2020-2025）
5.4.2 中国不同应用OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）
6 主要企业简介
6.1 HORIBA
6.1.1 HORIBA公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.1.2 HORIBA OES终点检测系统产品及服务介绍
6.1.3 HORIBA OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
6.1.4 HORIBA公司简介及主要业务
6.1.5 HORIBA企业最新动态
6.2 牛津仪器
6.2.1 牛津仪器公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.2.2 牛津仪器 OES终点检测系统产品及服务介绍
6.2.3 牛津仪器 OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
6.2.4 牛津仪器公司简介及主要业务
6.2.5 牛津仪器企业最新动态
6.3 Spectral Products
6.3.1 Spectral Products公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.3.2 Spectral Products OES终点检测系统产品及服务介绍
6.3.3 Spectral Products OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
6.3.4 Spectral Products公司简介及主要业务
6.3.5 Spectral Products企业最新动态
6.4 上海车仪田科技
6.4.1 上海车仪田科技公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.4.2 上海车仪田科技 OES终点检测系统产品及服务介绍
6.4.3 上海车仪田科技 OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
6.4.4 上海车仪田科技公司简介及主要业务
6.5 Verity Instruments
6.5.1 Verity Instruments公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.5.2 Verity Instruments OES终点检测系统产品及服务介绍
6.5.3 Verity Instruments OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
6.5.4 Verity Instruments公司简介及主要业务
6.5.5 Verity Instruments企业最新动态
6.6 Ocean Optics
6.6.1 Ocean Optics公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
6.6.2 Ocean Optics OES终点检测系统产品及服务介绍
6.6.3 Ocean Optics OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
6.6.4 Ocean Optics公司简介及主要业务
6.6.5 Ocean Optics企业最新动态
7 行业发展环境分析
7.1 OES终点检测系统行业发展趋势
7.2 OES终点检测系统行业主要驱动因素
7.3 OES终点检测系统中国企业SWOT分析
7.4 中国OES终点检测系统行业政策环境分析
7.4.1 行业主管部门及监管体制
7.4.2 行业相关政策动向
7.4.3 行业相关规划
8 行业供应链分析
8.1 OES终点检测系统行业产业链简介
8.1.1 OES终点检测系统行业供应链分析
8.1.2 OES终点检测系统主要原料及供应情况
8.1.3 OES终点检测系统行业主要下游客户
8.2 OES终点检测系统行业采购模式
8.3 OES终点检测系统行业生产模式
8.4 OES终点检测系统行业销售模式及销售渠道
9 研究结果
10 研究方法与数据来源
10.1 研究方法
10.2 数据来源
10.2.1 二手信息来源
10.2.2 一手信息来源
10.3 数据交互验证
10.4 免责声明
表格目录
表 1： OES终点检测系统行业发展主要特点
表 2： OES终点检测系统行业发展有利因素分析
表 3： OES终点检测系统行业发展不利因素分析
表 4： 进入OES终点检测系统行业壁垒
表 5： 近三年OES终点检测系统主要企业在国际市场占有率（按收入，2022-2025）
表 6： 2024年OES终点检测系统主要企业在国际市场排名（按收入）&（万元）
表 7： 近三年全球市场主要企业OES终点检测系统销售收入（2022-2025）&（万元）
表 8： 近三年OES终点检测系统主要企业在中国市场占有率（按收入，2022-2025）
表 9： 2024年OES终点检测系统主要企业在中国市场排名（按收入）&（万元）
表 10： 近三年中国市场主要企业OES终点检测系统销售收入（2022-2025）&（万元）
表 11： 全球主要厂商OES终点检测系统总部及产地分布
表 12： 全球主要厂商成立时间及OES终点检测系统商业化日期
表 13： 全球主要厂商OES终点检测系统产品类型及应用
表 14： 2024年全球OES终点检测系统主要厂商市场地位（第一梯队、第二梯队和第三梯队）
表 15： 全球OES终点检测系统市场投资、并购等现状分析
表 16： 全球主要地区OES终点检测系统销售额：（2020 VS 2024 VS 2031）&（万元）
表 17： 全球主要地区OES终点检测系统销售额（2020-2025年）&（万元）
表 18： 全球主要地区OES终点检测系统销售额及份额列表（2020-2025年）
表 19： 全球主要地区OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）&（万元）
表 20： 全球主要地区OES终点检测系统销售额及份额列表预测（2026-2031）
表 21： 基于强度变化主要企业列表
表 22： 基于比值主要企业列表
表 23： 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额及增长率对比（2020 VS 2024 VS 2031）&（万元）
表 24： 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额（2020-2025）&（万元）
表 25： 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额市场份额列表（2020-2025）
表 26： 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）&（万元）
表 27： 按产品类型细分，全球OES终点检测系统销售额市场份额预测（2026-2031）
表 28： 按产品类型细分，中国OES终点检测系统销售额（2020-2025）&（万元）
表 29： 按产品类型细分，中国OES终点检测系统销售额市场份额列表（2020-2025）
表 30： 按产品类型细分，中国OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）&（万元）
表 31： 按产品类型细分，中国OES终点检测系统销售额市场份额预测（2026-2031）
表 32： 单波长主要企业列表
表 33： 多波长主要企业列表
表 34： 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额及增长率对比（2020 VS 2024 VS 2031）&（万元）
表 35： 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额（2020-2025）&（万元）
表 36： 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额市场份额列表（2020-2025）
表 37： 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）&（万元）
表 38： 按产品细分，全球OES终点检测系统销售额市场份额预测（2026-2031）
表 39： 按产品细分，中国OES终点检测系统销售额（2020-2025）&（万元）
表 40： 按产品细分，中国OES终点检测系统销售额市场份额列表（2020-2025）
表 41： 按产品细分，中国OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）&（万元）
表 42： 按产品细分，中国OES终点检测系统销售额市场份额预测（2026-2031）
表 43： 按应用细分，全球OES终点检测系统销售额及增长率对比（2020 VS 2024 VS 2031）&（万元）
表 44： 按应用细分，全球OES终点检测系统销售额（2020-2025）&（万元）
表 45： 按应用细分，全球OES终点检测系统销售额市场份额列表（2020-2025）
表 46： 按应用细分，全球OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）&（万元）
表 47： 按应用细分，全球OES终点检测系统市场份额预测（2026-2031）
表 48： 中国不同应用OES终点检测系统销售额（2020-2025）&（万元）
表 49： 中国不同应用OES终点检测系统销售额市场份额列表（2020-2025）
表 50： 中国不同应用OES终点检测系统销售额预测（2026-2031）&（万元）
表 51： 中国不同应用OES终点检测系统销售额市场份额预测（2026-2031）
表 52： HORIBA公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 53： HORIBA OES终点检测系统产品及服务介绍
表 54： HORIBA OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
表 55： HORIBA公司简介及主要业务
表 56： HORIBA企业最新动态
表 57： 牛津仪器公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 58： 牛津仪器 OES终点检测系统产品及服务介绍
表 59： 牛津仪器 OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
表 60： 牛津仪器公司简介及主要业务
表 61： 牛津仪器企业最新动态
表 62： Spectral Products公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 63： Spectral Products OES终点检测系统产品及服务介绍
表 64： Spectral Products OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
表 65： Spectral Products公司简介及主要业务
表 66： Spectral Products企业最新动态
表 67： 上海车仪田科技公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 68： 上海车仪田科技 OES终点检测系统产品及服务介绍
表 69： 上海车仪田科技 OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
表 70： 上海车仪田科技公司简介及主要业务
表 71： Verity Instruments公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 72： Verity Instruments OES终点检测系统产品及服务介绍
表 73： Verity Instruments OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
表 74： Verity Instruments公司简介及主要业务
表 75： Verity Instruments企业最新动态
表 76： Ocean Optics公司信息、总部、OES终点检测系统市场地位以及主要的竞争对手
表 77： Ocean Optics OES终点检测系统产品及服务介绍
表 78： Ocean Optics OES终点检测系统收入及毛利率（2020-2025）&（万元）
表 79： Ocean Optics公司简介及主要业务
表 80： Ocean Optics企业最新动态
表 81： OES终点检测系统行业发展趋势
表 82： OES终点检测系统行业主要驱动因素
表 83： OES终点检测系统行业供应链分析
表 84： OES终点检测系统上游原料供应商
表 85： OES终点检测系统行业主要下游客户
表 86： OES终点检测系统典型经销商
表 87： 研究范围
表 88： 本文分析师列表
表 89： HengCe主要业务单元及分析师列表
图表目录
图 1： OES终点检测系统产品图片
图 2： 全球市场OES终点检测系统市场规模, 2020 VS 2024 VS 2031（万元）
图 3： 全球OES终点检测系统市场销售额预测:（万元）&（2020-2031）
图 4： 中国市场OES终点检测系统销售额及未来趋势（2020-2031）&（万元）
图 5： 2024年全球前五大厂商OES终点检测系统市场份额
图 6： 2024年全球OES终点检测系统第一梯队、第二梯队和第三梯队厂商及市场份额
图 7： 全球主要地区OES终点检测系统销售额市场份额（2020 VS 2024）
图 8： 北美OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）&（万元）
图 9： 欧洲OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）&（万元）
图 10： 中国OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）&（万元）
图 11： 日本OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）&（万元）
图 12： 东南亚OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）&（万元）
图 13： 印度OES终点检测系统销售额及预测（2020-2031）&（万元）
图 14： 基于强度变化 产品图片
图 15： 全球基于强度变化规模及增长率（2020-2031）&（万元）
图 16： 基于比值产品图片
图 17： 全球基于比值规模及增长率（2020-2031）&（万元）
图 18： 按产品类型细分，全球OES终点检测系统市场份额2024 & 2031
图 19： 按产品类型细分，全球OES终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 20： 按产品类型细分，全球OES终点检测系统市场份额预测2025 & 2031
图 21： 按产品类型细分，中国OES终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 22： 按产品类型细分，中国OES终点检测系统市场份额预测2025 & 2031
图 23： 单波长 产品图片
图 24： 全球单波长规模及增长率（2020-2031）&（万元）
图 25： 多波长产品图片
图 26： 全球多波长规模及增长率（2020-2031）&（万元）
图 27： 按产品细分，全球OES终点检测系统市场份额2024 & 2031
图 28： 按产品细分，全球OES终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 29： 按产品细分，全球OES终点检测系统市场份额预测2025 & 2031
图 30： 按产品细分，中国OES终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 31： 按产品细分，中国OES终点检测系统市场份额预测2025 & 2031
图 32： 刻蚀
图 33： 薄膜沉积
图 34： 其他
图 35： 按应用细分，全球OES终点检测系统市场份额2024 VS 2031
图 36： 按应用细分，全球OES终点检测系统市场份额2020 & 2024
图 37： OES终点检测系统中国企业SWOT分析
图 38： OES终点检测系统产业链
图 39： OES终点检测系统行业采购模式分析
图 40： OES终点检测系统行业生产模式
图 41： OES终点检测系统行业销售模式分析
图 42： 关键采访目标
图 43： 自下而上及自上而下验证
图 44： 资料三角测定