根据HengCe（恒策咨询）的统计及预测，2024年全球DUV光刻系统市场销售额达到了146.2亿美元，预计2031年将达到224亿美元，年复合增长率（CAGR）为6.4%（2025-2031）。地区层面来看，中国市场在过去几年变化较快，2024年市场规模为 百万美元，约占全球的 %，预计2031年将达到 百万美元，届时全球占比将达到 %。
光刻技术是指利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将设计好的微图形结构转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造技术，用它加工制造的器件包括：芯片、显示面板、掩膜版、印制电路板等。光刻技术的主要工艺流程包括预处理、涂胶、曝光、显影、刻蚀和去胶等一系列环节，整个工艺流程是一个复杂的过程，各工艺环节互相影响、互相制约，其中曝光是光刻技术中最重要的工艺环节。
按照光源类型划分，光刻机不仅有极紫外光刻机（EUV），还有ArF浸没式光刻机、ArF干式光刻机、KrF光刻机、i-line设备等。
其中，ArF浸没式、ArF干式和KrF都属于深紫外线光刻机（DUV），EUV是目前最先进的光刻机，但DUV其实是当前半导体制造的主力，无论是图像传感器、功率IC、MEMS、模拟IC，还是逻辑IC，主要用DUV进行生产。EUV光刻机主要用来生产7nm、5nm和3nm芯片。
目前IC前道制造掩膜光刻设备市场被荷兰ASML、日本 Nikon、Canon 所垄断，其中荷兰 ASML 处于全球领先地位，国内厂商仅有上海微电子等企业能够实现投影式光刻设备的产业化。全球IC前道制造光刻机市场基本由ASML（荷兰）、Nikon（日本）和Canon（日本）三家包揽，其中高端光刻机更是由ASML垄断，ASML是全球唯一一家具备EUV设备生产能力的光刻机厂商。Canon主要提供低端光刻机产品。2022年三者的集成电路用光刻机出货量达到551台，较21年的478台增加73台，涨幅15%；从EUV、ArFi、ArF三个高端机型的出货来看，2022年共出货157台，较2021年的152台增长3.3%，其中ASML出货149台，较2021年增加4台，占据95%市场份额；Nikon出货8台，占据剩余5%的市场份额。根据ASML、Nikon和Canon三家公司的年报，2023年全球半导体IC光刻机总出货量为681台，其中ASML处于主导地位。
本报告研究全球与中国市场DUV光刻系统的产能、产量、销量、销售额、价格及未来趋势。重点分析全球与中国市场的主要厂商产品特点、产品规格、价格、销量、销售收入及全球和中国市场主要生产商的市场份额。历史数据为2020至2024年，预测数据为2025至2031年。
主要厂商包括：
ASML
佳能
尼康
上海微电子装备
按照不同产品类型，包括如下几个类别：
ArF干式准分子系统
ArF浸入式准分子系统
KrF准分子系统
按照不同应用，主要包括如下几个方面：
逻辑芯片
存储芯片
模拟芯片
传感器
其他应用
重点关注如下几个地区
欧洲
日本
中国
本文正文共10章，各章节主要内容如下：
第1章：报告统计范围、产品细分及主要的下游市场，行业背景、发展历史、现状及趋势等
第2章：全球总体规模（产能、产量、销量、需求量、销售收入等数据，2020-2031年）
第3章：全球范围内DUV光刻系统主要厂商竞争分析，主要包括DUV光刻系统产能、销量、收入、市场份额、价格、产地及行业集中度分析
第4章：全球DUV光刻系统主要地区分析，包括销量、销售收入等
第5章：全球DUV光刻系统主要厂商基本情况介绍，包括公司简介、DUV光刻系统产品型号、销量、收入、价格及最新动态等
第6章：全球不同产品类型DUV光刻系统销量、收入、价格及份额等
第7章：全球不同应用DUV光刻系统销量、收入、价格及份额等
第8章：产业链、上下游分析、销售渠道与客户分析等
第9章：行业动态、增长驱动因素、发展机遇、有利因素、不利及阻碍因素、行业政策等
第10章：报告结论
1 DUV光刻系统市场概述
1.1 产品定义及统计范围
1.2 按照不同产品类型，DUV光刻系统主要可以分为如下几个类别
1.2.1 全球不同产品类型DUV光刻系统销售额增长趋势2020 VS 2024 VS 2031
1.2.2 ArF干式准分子系统
1.2.3 ArF浸入式准分子系统
1.2.4 KrF准分子系统
1.3 从不同应用，DUV光刻系统主要包括如下几个方面
1.3.1 全球不同应用DUV光刻系统销售额增长趋势2020 VS 2024 VS 2031
1.3.2 逻辑芯片
1.3.3 存储芯片
1.3.4 模拟芯片
1.3.5 传感器
1.3.6 其他应用
1.4 DUV光刻系统行业背景、发展历史、现状及趋势
1.4.1 DUV光刻系统行业目前现状分析
1.4.2 DUV光刻系统发展趋势
2 全球DUV光刻系统总体规模分析
2.1 全球DUV光刻系统供需现状及预测（2020-2031）
2.1.1 全球DUV光刻系统产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）
2.1.2 全球DUV光刻系统产量、需求量及发展趋势（2020-2031）
2.2 全球主要地区DUV光刻系统产量及发展趋势（2020-2031）
2.2.1 全球主要地区DUV光刻系统产量（2020-2025）
2.2.2 全球主要地区DUV光刻系统产量（2026-2031）
2.2.3 全球主要地区DUV光刻系统产量市场份额（2020-2031）
2.3 中国DUV光刻系统供需现状及预测（2020-2031）
2.3.1 中国DUV光刻系统产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）
2.3.2 中国DUV光刻系统产量、市场需求量及发展趋势（2020-2031）
2.4 全球DUV光刻系统销量及销售额
2.4.1 全球市场DUV光刻系统销售额（2020-2031）
2.4.2 全球市场DUV光刻系统销量（2020-2031）
2.4.3 全球市场DUV光刻系统价格趋势（2020-2031）
3 全球DUV光刻系统主要地区分析
3.1 全球主要地区DUV光刻系统市场规模分析：2020 VS 2024 VS 2031
3.1.1 全球主要地区DUV光刻系统销售收入及市场份额（2020-2025年）
3.1.2 全球主要地区DUV光刻系统销售收入预测（2026-2031年）
3.2 全球主要地区DUV光刻系统销量分析：2020 VS 2024 VS 2031
3.2.1 全球主要地区DUV光刻系统销量及市场份额（2020-2025年）
3.2.2 全球主要地区DUV光刻系统销量及市场份额预测（2026-2031）
3.3 北美市场DUV光刻系统销量、收入及增长率（2020-2031）
3.4 欧洲市场DUV光刻系统销量、收入及增长率（2020-2031）
3.5 中国市场DUV光刻系统销量、收入及增长率（2020-2031）
3.6 日本市场DUV光刻系统销量、收入及增长率（2020-2031）
3.7 东南亚市场DUV光刻系统销量、收入及增长率（2020-2031）
3.8 印度市场DUV光刻系统销量、收入及增长率（2020-2031）
4 全球与中国主要厂商市场份额分析
4.1 全球市场主要厂商DUV光刻系统产能市场份额
4.2 全球市场主要厂商DUV光刻系统销量（2020-2025）
4.2.1 全球市场主要厂商DUV光刻系统销量（2020-2025）
4.2.2 全球市场主要厂商DUV光刻系统销售收入（2020-2025）
4.2.3 全球市场主要厂商DUV光刻系统销售价格（2020-2025）
4.2.4 2024年全球主要生产商DUV光刻系统收入排名
4.3 中国市场主要厂商DUV光刻系统销量（2020-2025）
4.3.1 中国市场主要厂商DUV光刻系统销量（2020-2025）
4.3.2 中国市场主要厂商DUV光刻系统销售收入（2020-2025）
4.3.3 2024年中国主要生产商DUV光刻系统收入排名
4.3.4 中国市场主要厂商DUV光刻系统销售价格（2020-2025）
4.4 全球主要厂商DUV光刻系统总部及产地分布
4.5 全球主要厂商成立时间及DUV光刻系统商业化日期
4.6 全球主要厂商DUV光刻系统产品类型及应用
4.7 DUV光刻系统行业集中度、竞争程度分析
4.7.1 DUV光刻系统行业集中度分析：2024年全球Top 5生产商市场份额
4.7.2 全球DUV光刻系统第一梯队、第二梯队和第三梯队生产商（品牌）及市场份额
4.8 新增投资及市场并购活动
5 全球主要生产商分析
5.1 ASML
5.1.1 ASML基本信息、DUV光刻系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
5.1.2 ASML DUV光刻系统产品规格、参数及市场应用
5.1.3 ASML DUV光刻系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
5.1.4 ASML公司简介及主要业务
5.1.5 ASML企业最新动态
5.2 佳能
5.2.1 佳能基本信息、DUV光刻系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
5.2.2 佳能 DUV光刻系统产品规格、参数及市场应用
5.2.3 佳能 DUV光刻系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
5.2.4 佳能公司简介及主要业务
5.2.5 佳能企业最新动态
5.3 尼康
5.3.1 尼康基本信息、DUV光刻系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
5.3.2 尼康 DUV光刻系统产品规格、参数及市场应用
5.3.3 尼康 DUV光刻系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
5.3.4 尼康公司简介及主要业务
5.3.5 尼康企业最新动态
5.4 上海微电子装备
5.4.1 上海微电子装备基本信息、DUV光刻系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
5.4.2 上海微电子装备 DUV光刻系统产品规格、参数及市场应用
5.4.3 上海微电子装备 DUV光刻系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
5.4.4 上海微电子装备公司简介及主要业务
5.4.5 上海微电子装备企业最新动态
6 不同产品类型DUV光刻系统分析
6.1 全球不同产品类型DUV光刻系统销量（2020-2031）
6.1.1 全球不同产品类型DUV光刻系统销量及市场份额（2020-2025）
6.1.2 全球不同产品类型DUV光刻系统销量预测（2026-2031）
6.2 全球不同产品类型DUV光刻系统收入（2020-2031）
6.2.1 全球不同产品类型DUV光刻系统收入及市场份额（2020-2025）
6.2.2 全球不同产品类型DUV光刻系统收入预测（2026-2031）
6.3 全球不同产品类型DUV光刻系统价格走势（2020-2031）
7 不同应用DUV光刻系统分析
7.1 全球不同应用DUV光刻系统销量（2020-2031）
7.1.1 全球不同应用DUV光刻系统销量及市场份额（2020-2025）
7.1.2 全球不同应用DUV光刻系统销量预测（2026-2031）
7.2 全球不同应用DUV光刻系统收入（2020-2031）
7.2.1 全球不同应用DUV光刻系统收入及市场份额（2020-2025）
7.2.2 全球不同应用DUV光刻系统收入预测（2026-2031）
7.3 全球不同应用DUV光刻系统价格走势（2020-2031）
8 上游原料及下游市场分析
8.1 DUV光刻系统产业链分析
8.2 DUV光刻系统工艺制造技术分析
8.3 DUV光刻系统产业上游供应分析
8.3.1 上游原料供给状况
8.3.2 原料供应商及联系方式
8.4 DUV光刻系统下游客户分析
8.5 DUV光刻系统销售渠道分析
9 行业发展机遇和风险分析
9.1 DUV光刻系统行业发展机遇及主要驱动因素
9.2 DUV光刻系统行业发展面临的风险
9.3 DUV光刻系统行业政策分析
9.4 DUV光刻系统中国企业SWOT分析
10 研究成果及结论
11 附录
11.1 研究方法
11.2 数据来源
11.2.1 二手信息来源
11.2.2 一手信息来源
11.3 数据交互验证
11.4 免责声明
表格目录
表 1： 全球不同产品类型DUV光刻系统销售额增长（CAGR）趋势2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）
表 2： 全球不同应用销售额增速（CAGR）2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）
表 3： DUV光刻系统行业目前发展现状
表 4： DUV光刻系统发展趋势
表 5： 全球主要地区DUV光刻系统产量增速（CAGR）：（2020 VS 2024 VS 2031）&（台）
表 6： 全球主要地区DUV光刻系统产量（2020-2025）&（台）
表 7： 全球主要地区DUV光刻系统产量（2026-2031）&（台）
表 8： 全球主要地区DUV光刻系统产量市场份额（2020-2025）
表 9： 全球主要地区DUV光刻系统产量（2026-2031）&（台）
表 10： 全球主要地区DUV光刻系统销售收入增速：（2020 VS 2024 VS 2031）&（百万美元）
表 11： 全球主要地区DUV光刻系统销售收入（2020-2025）&（百万美元）
表 12： 全球主要地区DUV光刻系统销售收入市场份额（2020-2025）
表 13： 全球主要地区DUV光刻系统收入（2026-2031）&（百万美元）
表 14： 全球主要地区DUV光刻系统收入市场份额（2026-2031）
表 15： 全球主要地区DUV光刻系统销量（台）：2020 VS 2024 VS 2031
表 16： 全球主要地区DUV光刻系统销量（2020-2025）&（台）
表 17： 全球主要地区DUV光刻系统销量市场份额（2020-2025）
表 18： 全球主要地区DUV光刻系统销量（2026-2031）&（台）
表 19： 全球主要地区DUV光刻系统销量份额（2026-2031）
表 20： 全球市场主要厂商DUV光刻系统产能（2024-2025）&（台）
表 21： 全球市场主要厂商DUV光刻系统销量（2020-2025）&（台）
表 22： 全球市场主要厂商DUV光刻系统销量市场份额（2020-2025）
表 23： 全球市场主要厂商DUV光刻系统销售收入（2020-2025）&（百万美元）
表 24： 全球市场主要厂商DUV光刻系统销售收入市场份额（2020-2025）
表 25： 全球市场主要厂商DUV光刻系统销售价格（2020-2025）&（百万美元/台）
表 26： 2024年全球主要生产商DUV光刻系统收入排名（百万美元）
表 27： 中国市场主要厂商DUV光刻系统销量（2020-2025）&（台）
表 28： 中国市场主要厂商DUV光刻系统销量市场份额（2020-2025）
表 29： 中国市场主要厂商DUV光刻系统销售收入（2020-2025）&（百万美元）
表 30： 中国市场主要厂商DUV光刻系统销售收入市场份额（2020-2025）
表 31： 2024年中国主要生产商DUV光刻系统收入排名（百万美元）
表 32： 中国市场主要厂商DUV光刻系统销售价格（2020-2025）&（百万美元/台）
表 33： 全球主要厂商DUV光刻系统总部及产地分布
表 34： 全球主要厂商成立时间及DUV光刻系统商业化日期
表 35： 全球主要厂商DUV光刻系统产品类型及应用
表 36： 2024年全球DUV光刻系统主要厂商市场地位（第一梯队、第二梯队和第三梯队）
表 37： 全球DUV光刻系统市场投资、并购等现状分析
表 38： ASML DUV光刻系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
表 39： ASML DUV光刻系统产品规格、参数及市场应用
表 40： ASML DUV光刻系统销量（台）、收入（百万美元）、价格（百万美元/台）及毛利率（2020-2025）
表 41： ASML公司简介及主要业务
表 42： ASML企业最新动态
表 43： 佳能 DUV光刻系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
表 44： 佳能 DUV光刻系统产品规格、参数及市场应用
表 45： 佳能 DUV光刻系统销量（台）、收入（百万美元）、价格（百万美元/台）及毛利率（2020-2025）
表 46： 佳能公司简介及主要业务
表 47： 佳能企业最新动态
表 48： 尼康 DUV光刻系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
表 49： 尼康 DUV光刻系统产品规格、参数及市场应用
表 50： 尼康 DUV光刻系统销量（台）、收入（百万美元）、价格（百万美元/台）及毛利率（2020-2025）
表 51： 尼康公司简介及主要业务
表 52： 尼康企业最新动态
表 53： 上海微电子装备 DUV光刻系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
表 54： 上海微电子装备 DUV光刻系统产品规格、参数及市场应用
表 55： 上海微电子装备 DUV光刻系统销量（台）、收入（百万美元）、价格（百万美元/台）及毛利率（2020-2025）
表 56： 上海微电子装备公司简介及主要业务
表 57： 上海微电子装备企业最新动态
表 58： 全球不同产品类型DUV光刻系统销量（2020-2025年）&（台）
表 59： 全球不同产品类型DUV光刻系统销量市场份额（2020-2025）
表 60： 全球不同产品类型DUV光刻系统销量预测（2026-2031）&（台）
表 61： 全球市场不同产品类型DUV光刻系统销量市场份额预测（2026-2031）
表 62： 全球不同产品类型DUV光刻系统收入（2020-2025年）&（百万美元）
表 63： 全球不同产品类型DUV光刻系统收入市场份额（2020-2025）
表 64： 全球不同产品类型DUV光刻系统收入预测（2026-2031）&（百万美元）
表 65： 全球不同产品类型DUV光刻系统收入市场份额预测（2026-2031）
表 66： 全球不同应用DUV光刻系统销量（2020-2025年）&（台）
表 67： 全球不同应用DUV光刻系统销量市场份额（2020-2025）
表 68： 全球不同应用DUV光刻系统销量预测（2026-2031）&（台）
表 69： 全球市场不同应用DUV光刻系统销量市场份额预测（2026-2031）
表 70： 全球不同应用DUV光刻系统收入（2020-2025年）&（百万美元）
表 71： 全球不同应用DUV光刻系统收入市场份额（2020-2025）
表 72： 全球不同应用DUV光刻系统收入预测（2026-2031）&（百万美元）
表 73： 全球不同应用DUV光刻系统收入市场份额预测（2026-2031）
表 74： DUV光刻系统上游原料供应商及联系方式列表
表 75： DUV光刻系统典型客户列表
表 76： DUV光刻系统主要销售模式及销售渠道
表 77： DUV光刻系统行业发展机遇及主要驱动因素
表 78： DUV光刻系统行业发展面临的风险
表 79： DUV光刻系统行业政策分析
表 80： 研究范围
表 81： 本文分析师列表
图表目录
图 1： DUV光刻系统产品图片
图 2： 全球不同产品类型DUV光刻系统销售额2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）
图 3： 全球不同产品类型DUV光刻系统市场份额2024 & 2031
图 4： ArF干式准分子系统产品图片
图 5： ArF浸入式准分子系统产品图片
图 6： KrF准分子系统产品图片
图 7： 全球不同应用销售额2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）
图 8： 全球不同应用DUV光刻系统市场份额2024 & 2031
图 9： 逻辑芯片
图 10： 存储芯片
图 11： 模拟芯片
图 12： 传感器
图 13： 其他应用
图 14： 全球DUV光刻系统产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）&（台）
图 15： 全球DUV光刻系统产量、需求量及发展趋势（2020-2031）&（台）
图 16： 全球主要地区DUV光刻系统产量（2020 VS 2024 VS 2031）&（台）
图 17： 全球主要地区DUV光刻系统产量市场份额（2020-2031）
图 18： 中国DUV光刻系统产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）&（台）
图 19： 中国DUV光刻系统产量、市场需求量及发展趋势（2020-2031）&（台）
图 20： 全球DUV光刻系统市场销售额及增长率:（2020-2031）&（百万美元）
图 21： 全球市场DUV光刻系统市场规模：2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）
图 22： 全球市场DUV光刻系统销量及增长率（2020-2031）&（台）
图 23： 全球市场DUV光刻系统价格趋势（2020-2031）&（百万美元/台）
图 24： 全球主要地区DUV光刻系统销售收入（2020 VS 2024 VS 2031）&（百万美元）
图 25： 全球主要地区DUV光刻系统销售收入市场份额（2020 VS 2024）
图 26： 北美市场DUV光刻系统销量及增长率（2020-2031）&（台）
图 27： 北美市场DUV光刻系统收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）
图 28： 欧洲市场DUV光刻系统销量及增长率（2020-2031）&（台）
图 29： 欧洲市场DUV光刻系统收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）
图 30： 中国市场DUV光刻系统销量及增长率（2020-2031）&（台）
图 31： 中国市场DUV光刻系统收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）
图 32： 日本市场DUV光刻系统销量及增长率（2020-2031）&（台）
图 33： 日本市场DUV光刻系统收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）
图 34： 东南亚市场DUV光刻系统销量及增长率（2020-2031）&（台）
图 35： 东南亚市场DUV光刻系统收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）
图 36： 印度市场DUV光刻系统销量及增长率（2020-2031）&（台）
图 37： 印度市场DUV光刻系统收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）
图 38： 2024年全球市场主要厂商DUV光刻系统销量市场份额
图 39： 2024年全球市场主要厂商DUV光刻系统收入市场份额
图 40： 2024年中国市场主要厂商DUV光刻系统销量市场份额
图 41： 2024年中国市场主要厂商DUV光刻系统收入市场份额
图 42： 2024年全球前五大生产商DUV光刻系统市场份额
图 43： 2024年全球DUV光刻系统第一梯队、第二梯队和第三梯队厂商及市场份额
图 44： 全球不同产品类型DUV光刻系统价格走势（2020-2031）&（百万美元/台）
图 45： 全球不同应用DUV光刻系统价格走势（2020-2031）&（百万美元/台）
图 46： DUV光刻系统产业链
图 47： DUV光刻系统中国企业SWOT分析
图 48： 关键采访目标
图 49： 自下而上及自上而下验证
图 50： 资料三角测定